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文献
J-GLOBAL ID：201802255802425383
整理番号：18A0078535
アーク-PVD TiAlSiYと(TiAlSiY)N被覆層の特性【Powered by NICT】
Characteristics of Arc-PVD TiAlSiY and (TiAlSiY)N coatings
Kravchenko Ya.
(Department of Nanoelectronics, Sumy State University Sumy, Ukraine)
,
Borysiuk V.
(Department of Nanoelectronics, Sumy State University Sumy, Ukraine)
,
Pogrebnjak A.
(Department of Nanoelectronics, Sumy State University Sumy, Ukraine)
,
Kylyshkanov M.
(Serikbayev East Kazakhstan State Technical University Ust-Kamenogorsk, Kazakhstan)
,
Iatsunskyi I.
(NBMC, Adam Mickiewicz University of Poznan Poznan, Poland)
,
Smyrnova K.
(Department of Nanoelectronics, Sumy State University Sumy, Ukraine)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： NAP ページ： 01FNC02-1-01FNC02-4 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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