文献
J-GLOBAL ID:201802255802425383
整理番号:18A0078535
アーク-PVD TiAlSiYと(TiAlSiY)N被覆層の特性【Powered by NICT】
Characteristics of Arc-PVD TiAlSiY and (TiAlSiY)N coatings
著者 (6件):
Kravchenko Ya.
(Department of Nanoelectronics, Sumy State University Sumy, Ukraine)
,
Borysiuk V.
(Department of Nanoelectronics, Sumy State University Sumy, Ukraine)
,
Pogrebnjak A.
(Department of Nanoelectronics, Sumy State University Sumy, Ukraine)
,
Kylyshkanov M.
(Serikbayev East Kazakhstan State Technical University Ust-Kamenogorsk, Kazakhstan)
,
Iatsunskyi I.
(NBMC, Adam Mickiewicz University of Poznan Poznan, Poland)
,
Smyrnova K.
(Department of Nanoelectronics, Sumy State University Sumy, Ukraine)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
NAP
ページ:
01FNC02-1-01FNC02-4
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)