文献
J-GLOBAL ID:201802255872135716
整理番号:18A0509380
テラヘルツ時間領域分光法によるCPW基質としての環状オレフィン共重合体薄膜とその誘電特性の開発と特性化【Powered by NICT】
Development and characterization of cyclic olefin copolymer thin films and their dielectric characteristics as CPW substrate by means of Terahertz Time Domain Spectroscopy
著者 (10件):
Diaz-Albarran L.M.
(Instituto de Micro y Nanotecnologia CNM, CSIC, Calle Isaac Newton, 8. Tres Cantos, 28760 Madrid, Spain)
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Diaz-Albarran L.M.
(Instituto Politecnico Nacional, UPALM, Edif. Z-4 3er Piso, CP 07738, Mexico CDMX, Mexico)
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Lugo-Hernandez E.
(Instituto de Micro y Nanotecnologia CNM, CSIC, Calle Isaac Newton, 8. Tres Cantos, 28760 Madrid, Spain)
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Lugo-Hernandez E.
(Instituto Politecnico Nacional, UPALM, Edif. Z-4 3er Piso, CP 07738, Mexico CDMX, Mexico)
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Ramirez-Garcia E.
(Instituto Politecnico Nacional, UPALM, Edif. Z-4 3er Piso, CP 07738, Mexico CDMX, Mexico)
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Enciso-Aguilar M.A.
(Instituto Politecnico Nacional, UPALM, Edif. Z-4 3er Piso, CP 07738, Mexico CDMX, Mexico)
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Valdez-Perez D.
(Instituto Politecnico Nacional, UPALM, Edif. Z-4 3er Piso, CP 07738, Mexico CDMX, Mexico)
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Cereceda-Company P.
(Instituto de Micro y Nanotecnologia CNM, CSIC, Calle Isaac Newton, 8. Tres Cantos, 28760 Madrid, Spain)
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Granados D.
(Instituto IMDEA-nanociencia, Calle Faraday, 9, 28049 Madrid, Spain)
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Costa-Kraemer J.L.
(Instituto de Micro y Nanotecnologia CNM, CSIC, Calle Isaac Newton, 8. Tres Cantos, 28760 Madrid, Spain)
資料名:
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻:
191
ページ:
84-90
発行年:
2018年
JST資料番号:
C0406B
ISSN:
0167-9317
CODEN:
MIENEF
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)