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文献
J-GLOBAL ID：201802256135089938
整理番号：18A1892909
異なるタイプのDLC膜の膜構造に及ぼす酸素プラズマ処理の影響
Effect of Oxygen Plasma Treatment on Film Structure for Different Types of DLC film
Mayama Tatsuya
(Tokyo Denki University)
,
Hiratsuka Masanori
(Nanotec Corporation)
,
Nakamori Hideki
(Nanotec Corporation)
,
Homma Akihiko
(Tokyo Denki University)
,
Hirakuri Kenji
(Tokyo Denki University)
,
Ohgoe Yasuharu
(Tokyo Denki University)
資料名：
Transactions of the Materials Research Society of Japan
(Transactions of the Materials Research Society of Japan)
巻： 43 号： 5 ページ： 275-278(J-STAGE) 発行年： 2018年
JST資料番号： L4468A ISSN： 1382-3469 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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