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文献
J-GLOBAL ID：201802257885882740
整理番号：18A1420677
InN金属有機気相エピタクシーの気相反応経路の解析
Analysis of Gas Phase Reaction Pathways for InN Metal Organic Vapor Phase Epitaxy
Sone Junji
(Faculty of Engineering, Tokyo Polytechnic University)
,
Uematsu Kouta
(Faculty of Engineering, Tokyo Polytechnic University)
,
Matsufuji Yuuki
(Faculty of Engineering, Tokyo Polytechnic University)
,
Oshima Masato
(Faculty of Engineering, Tokyo Polytechnic University)
,
Yamada Katsumi
(Faculty of Engineering, Tokyo Polytechnic University)
,
Higashi Masahiro
(Faculty of Science, University of the Ryukyus)
資料名：
Journal of Chemical Engineering of Japan
(Journal of Chemical Engineering of Japan)
巻： 51 号： 7 ページ： 605-608(J-STAGE) 発行年： 2018年
JST資料番号： S0629A ISSN： 0021-9592 CODEN： JCEJAQ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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