前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201802259731837882
整理番号：18A0377098
金属酸化物混合粉末ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリングによる金属ドープSiO2薄膜の作製
Preparation of metal doped SiO2 films by magnetron sputtering deposition using metal oxide mixture powder target
Kawasaki H.
(National Institute of Technology, Sasebo College)
,
Ohshima T.
(National Institute of Technology, Sasebo College)
,
Yagyu Y.
(National Institute of Technology, Sasebo College)
,
Ihara T.
(National Institute of Technology, Sasebo College)
,
Shinohara M.
(National Institute of Technology, Sasebo College)
,
Suda Y.
(National Institute of Technology, Ishikawa College)
資料名：
Transactions of the Materials Research Society of Japan
(Transactions of the Materials Research Society of Japan)
巻： 43 号： 1 ページ： 27-30(J-STAGE) 発行年： 2018年
JST資料番号： L4468A ISSN： 1382-3469 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。