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J-GLOBAL ID:201802260007567434   整理番号:18A0849803

パリレン-C堆積とマスクレスマイクロプラズマ描画を用いた紙ベースのマイクロ流体デバイスの直接および全乾式作製【JST・京大機械翻訳】

Direct and all-dry fabrication of paper-based microfluidic device using parylene-C deposition and maskless microplasma writing
著者 (6件):
Wang Tao
(National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Department of Micro/Nano-electronics, Key Laboratory for Thin Film and Micro fabrication of Ministry of Education, and Collaborative Innovation Center of IFSA, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, China)
Hu M. S.
(National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Department of Micro/Nano-electronics, Key Laboratory for Thin Film and Micro fabrication of Ministry of Education, and Collaborative Innovation Center of IFSA, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, China)
Yang Bin
(National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Department of Micro/Nano-electronics, Key Laboratory for Thin Film and Micro fabrication of Ministry of Education, and Collaborative Innovation Center of IFSA, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, China)
Wang X. L.
(National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Department of Micro/Nano-electronics, Key Laboratory for Thin Film and Micro fabrication of Ministry of Education, and Collaborative Innovation Center of IFSA, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, China)
Chen Xiang
(National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Department of Micro/Nano-electronics, Key Laboratory for Thin Film and Micro fabrication of Ministry of Education, and Collaborative Innovation Center of IFSA, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, China)
Liu Jing-Quan
(National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Department of Micro/Nano-electronics, Key Laboratory for Thin Film and Micro fabrication of Ministry of Education, and Collaborative Innovation Center of IFSA, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, China)

資料名:
IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)

巻: 2018  号: MEMS  ページ: 1249-1252  発行年: 2018年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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