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文献
J-GLOBAL ID：201802260100325063
整理番号：18A2020323
大電力パルススパッタ法によるスピント型陰極作製における放電ガス(アルゴン,クリプトン)の効果
Effects of discharge gas species (Ar, Kr) on fabrication of Spindt type emitter cathode using high power pulsed magnetron sputtering
谷口日向
(成蹊大 理工)
,
大家渓
(成蹊大 理工)
,
中野武雄
(成蹊大 理工)
,
長尾昌善
(産業技術総合研)
,
大崎壽
(産業技術総合研)
,
村上勝久
(産業技術総合研)
資料名：
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 118 号： 263(ED2018 26-31) ページ： 5-8 発行年： 2018年10月17日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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