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文献
J-GLOBAL ID：201802260467805244
整理番号：18A1894241
電子サイクロトロン共鳴エッチング反応器におけるトリベルピース-Gould波の数値同定【JST・京大機械翻訳】
Numerical Identification of Trivelpiece-Gould Waves in an Electron Cyclotron Resonance Etching Reactor
Tamura Hitoshi
(Electric Device Systems Business Group, Hitachi High-Technologies Corporation, Kudamatsu, Japan)
,
Tetsuka Tsutomu
(Research & Development Group, Hitachi Ltd., Tokyo, Japan)
,
Tamari Nanako
(Electric Device Systems Business Group, Hitachi High-Technologies Corporation, Kudamatsu, Japan)
,
Kuwahara Daisuke
(Institute of Engineering, Tokyo University of Agriculture and Technology, Tokyo, Japan)
,
Shinohara Shunjiro
(Institute of Engineering, Tokyo University of Agriculture and Technology, Tokyo, Japan)
資料名：
IEEE Transactions on Plasma Science
(IEEE Transactions on Plasma Science)
巻： 46 号： 10 ページ： 3662-3668 発行年： 2018年
JST資料番号： D0036B ISSN： 0093-3813 CODEN： ITPSBD 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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