文献
J-GLOBAL ID:201802261317042976
整理番号:18A0944304
軸方向非垂直エッチングの効果に焦点を当てたMEMSジャイロスコープにおける梁の非等弾性の包括的モデル【JST・京大機械翻訳】
A comprehensive model of beams’ anisoelasticity in MEMS gyroscopes, with focus on the effect of axial non-vertical etching
著者 (10件):
Izadi M.
(Dipartimento di Meccanica, Politecnico di Milano, Milan, Italy)
,
Braghin F.
(Dipartimento di Meccanica, Politecnico di Milano, Milan, Italy)
,
Giannini D.
(Dipartimento di Meccanica, Politecnico di Milano, Milan, Italy)
,
Milani D.
(Dipartimento di Meccanica, Politecnico di Milano, Milan, Italy)
,
Resta F.
(Dipartimento di Meccanica, Politecnico di Milano, Milan, Italy)
,
Brunetto M. F.
(AMG R&D, STMicroelectronics, Cornaredo (MI), Italy)
,
Falorni L. G.
(AMG R&D, STMicroelectronics, Cornaredo (MI), Italy)
,
Gattere G.
(AMG R&D, STMicroelectronics, Cornaredo (MI), Italy)
,
Guerinoni L.
(AMG R&D, STMicroelectronics, Cornaredo (MI), Italy)
,
Valzasina C.
(AMG R&D, STMicroelectronics, Cornaredo (MI), Italy)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2018
号:
INERTIAL
ページ:
1-4
発行年:
2018年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)