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文献
J-GLOBAL ID：201802261735246983
整理番号：18A0809773
Si3N4/SiO2膜上に作製した薄膜スパイラルアンテナ結合Biマイクロボロメータの特性
Characteristics of thin-film spiral antenna-coupled Bi microbolometer fabricated on Si3N4/SiO2 membrane
Uchida Takashi
(Department of Electrical and Electronic Engineering, National Defense Academy, 1-10-20 Hashirimizu, Yokosuka, 239-8686, Japan)
,
Matsushita Akihito
(Department of Electrical and Electronic Engineering, National Defense Academy, 1-10-20 Hashirimizu, Yokosuka, 239-8686, Japan)
,
Tachiki Takashi
(Department of Electrical and Electronic Engineering, National Defense Academy, 1-10-20 Hashirimizu, Yokosuka, 239-8686, Japan)
資料名：
IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering
(IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering)
巻： 13 号： 6 ページ： 876-881 発行年： 2018年06月
JST資料番号： W1854A ISSN： 1931-4973 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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