文献
J-GLOBAL ID:201802261771650361
整理番号:18A0615395
統合圧電変換を用いた懸濁マイクロチャネル共振器の作製【Powered by NICT】
Fabrication of suspended microchannel resonators with integrated piezoelectric transduction
著者 (3件):
De Pastina A.
(Advanced NEMS Laboratory, Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Switzerland)
,
Maillard D.
(Advanced NEMS Laboratory, Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Switzerland)
,
Villanueva L.G.
(Advanced NEMS Laboratory, Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Switzerland)
資料名:
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻:
192
ページ:
83-87
発行年:
2018年
JST資料番号:
C0406B
ISSN:
0167-9317
CODEN:
MIENEF
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)