文献
J-GLOBAL ID:201802261953112606
整理番号:18A0588543
FDSOIウエハ上の捕捉密度抽出上下BOX界面のための新しいCV/GV技術【Powered by NICT】
Novel CV/GV technique for top and bottom BOX interfaces traps density extraction on FDSOI wafers
著者 (6件):
Vandendaele W.
(CEA LETI - MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, Grenoble, FRANCE F-38054)
,
Malaquin C.
(SOITEC SA, Parc Technologique des Fontaines, 38190 Bernin, France)
,
Ghorbel A.
(SOITEC SA, Parc Technologique des Fontaines, 38190 Bernin, France)
,
Casse M.
(CEA LETI - MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, Grenoble, FRANCE F-38054)
,
Allibert F.
(SOITEC SA, Parc Technologique des Fontaines, 38190 Bernin, France)
,
Reimbold G.
(CEA LETI - MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, Grenoble, FRANCE F-38054)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
S3S
ページ:
1-3
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)