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文献
J-GLOBAL ID：201802261953112606
整理番号：18A0588543
FDSOIウエハ上の捕捉密度抽出上下BOX界面のための新しいCV/GV技術【Powered by NICT】
Novel CV/GV technique for top and bottom BOX interfaces traps density extraction on FDSOI wafers
Vandendaele W.
(CEA LETI - MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, Grenoble, FRANCE F-38054)
,
Malaquin C.
(SOITEC SA, Parc Technologique des Fontaines, 38190 Bernin, France)
,
Ghorbel A.
(SOITEC SA, Parc Technologique des Fontaines, 38190 Bernin, France)
,
Casse M.
(CEA LETI - MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, Grenoble, FRANCE F-38054)
,
Allibert F.
(SOITEC SA, Parc Technologique des Fontaines, 38190 Bernin, France)
,
Reimbold G.
(CEA LETI - MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, Grenoble, FRANCE F-38054)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： S3S ページ： 1-3 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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