文献
J-GLOBAL ID:201802262198030651
整理番号:18A0712526
シリコン単結晶の直径測定のための新しい方法【JST・京大機械翻訳】
A novel method for diameter measurement of silicon single crystal
著者 (4件):
Wang Xuanyin
(Zhejiang University, The State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Hangzhou 310027, China)
,
Xiang Senwei
(Zhejiang University, The State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Hangzhou 310027, China)
,
Xiang Ke
(Zhejiang University, The State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Hangzhou 310027, China)
,
Pan Feng
(Zhejiang Sunny Optical Intelligence Technology Co., Ltd., 525 Xixi Road, Hangzhou 310027, China)
資料名:
Measurement
(Measurement)
巻:
121
ページ:
286-293
発行年:
2018年
JST資料番号:
W0315B
ISSN:
0263-2241
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)