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文献
J-GLOBAL ID：201802263238409479
整理番号：18A1383622
W導入に伴う熱フィラメント化学蒸着によるダイヤモンド中の貫通転位の大きな減少【JST・京大機械翻訳】
Large reduction of threading dislocations in diamond by hot-filament chemical vapor deposition accompanying W incorporations
Ohmagari Shinya
(Diamond Materials Team, Advanced Power Electronics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, Japan)
,
Yamada Hideaki
(Diamond Materials Team, Advanced Power Electronics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, Japan)
,
Tsubouchi Nobuteru
(Diamond Materials Team, Advanced Power Electronics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, Japan)
,
Umezawa Hitoshi
(Diamond Materials Team, Advanced Power Electronics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, Japan)
,
Chayahara Akiyoshi
(Diamond Materials Team, Advanced Power Electronics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, Japan)
,
Tanaka Shingo
(Research Institute of Electrochemical Energy (RIECEN), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, Japan)
,
Mokuno Yoshiaki
(Diamond Materials Team, Advanced Power Electronics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, Japan)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 113 号： 3 ページ： 032108-032108-4 発行年： 2018年
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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