文献
J-GLOBAL ID:201802263704617745
整理番号:18A0844949
n-Si上の酸素を取り込んだLa/超薄TiSi_xの金属二重層接触スタックによる改良されたOhm性能【JST・京大機械翻訳】
Improved Ohmic Performance by the Metallic Bilayer Contact Stack of Oxygen-Incorporated La/Ultrathin TiSix on n-Si
著者 (9件):
Wang Lin-Lin
(State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai, China)
,
Yu Hao
(Department of Electrical Engineering, KU Leuven, Leuven, Belgium)
,
Schaekers Marc
(imec, Leuven, Belgium)
,
Everaert Jean-Luc
(imec, Leuven, Belgium)
,
Mocuta Dan
(imec, Leuven, Belgium)
,
Horiguchi Naoto
(imec, Leuven, Belgium)
,
Collaert Nadine
(imec, Leuven, Belgium)
,
De Meyer Kristin
(Department of Electrical Engineering, KU Leuven, Leuven, Belgium)
,
Jiang Yu-Long
(State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai, China)
資料名:
IEEE Transactions on Electron Devices
(IEEE Transactions on Electron Devices)
巻:
65
号:
5
ページ:
1869-1872
発行年:
2018年
JST資料番号:
C0222A
ISSN:
0018-9383
CODEN:
IETDAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)