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文献
J-GLOBAL ID:201802263704617745   整理番号:18A0844949

n-Si上の酸素を取り込んだLa/超薄TiSi_xの金属二重層接触スタックによる改良されたOhm性能【JST・京大機械翻訳】

Improved Ohmic Performance by the Metallic Bilayer Contact Stack of Oxygen-Incorporated La/Ultrathin TiSix on n-Si
著者 (9件):
Wang Lin-Lin
(State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai, China)
Yu Hao
(Department of Electrical Engineering, KU Leuven, Leuven, Belgium)
Schaekers Marc
(imec, Leuven, Belgium)
Everaert Jean-Luc
(imec, Leuven, Belgium)
Mocuta Dan
(imec, Leuven, Belgium)
Horiguchi Naoto
(imec, Leuven, Belgium)
Collaert Nadine
(imec, Leuven, Belgium)
De Meyer Kristin
(Department of Electrical Engineering, KU Leuven, Leuven, Belgium)
Jiang Yu-Long
(State Key Laboratory of ASIC and System, School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai, China)

資料名:
IEEE Transactions on Electron Devices  (IEEE Transactions on Electron Devices)

巻: 65  号:ページ: 1869-1872  発行年: 2018年 
JST資料番号: C0222A  ISSN: 0018-9383  CODEN: IETDAI  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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