文献
J-GLOBAL ID:201802264410535559
整理番号:18A1615209
バリアレスCuメタライゼーションにおけるCu(Ti)とCu(Zr)合金の評価【JST・京大機械翻訳】
Evaluation of Cu(Ti) and Cu(Zr) alloys in barrier-less Cu metallization
著者 (4件):
Cao Fei
(Key Laboratory of RF Circuits and Systems, Ministry of Education, Hangzhou Dianzi University, 310018, Hangzhou, China)
,
Wang Ying
(Key Laboratory of RF Circuits and Systems, Ministry of Education, Hangzhou Dianzi University, 310018, Hangzhou, China)
,
Li Fu-yin
(Key Laboratory of RF Circuits and Systems, Ministry of Education, Hangzhou Dianzi University, 310018, Hangzhou, China)
,
Tang Bin-han
(Key Laboratory of RF Circuits and Systems, Ministry of Education, Hangzhou Dianzi University, 310018, Hangzhou, China)
資料名:
Materials Chemistry and Physics
(Materials Chemistry and Physics)
巻:
217
ページ:
412-420
発行年:
2018年
JST資料番号:
E0934A
ISSN:
0254-0584
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)