文献
J-GLOBAL ID:201802264484260752
整理番号:18A1044911
紡糸基板に関する脱濡れモデル研究 低化学消費への挑戦【JST・京大機械翻訳】
De-wetting model study on spinning substrate - Challenges for low chemical consumption
著者 (3件):
Mui David
(Lam Research Corp., Fremont, USA)
,
Kawaguchi Mark
(Lam Research Corp., Fremont, USA)
,
Haigermoser Christian
(Lam Research Service (Shanghai) Co., Ltd., Shanghai, China)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2018
号:
CSTIC
ページ:
1-3
発行年:
2018年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)