文献
J-GLOBAL ID:201802266323809293
整理番号:18A1676668
電熱MEMSミラーの熱信頼性研究【JST・京大機械翻訳】
Thermal Reliability Study of an Electrothermal MEMS Mirror
著者 (4件):
Wang Haoran
(Department of Electrical and Computer Engineering, University of Florida, Gainesville, FL, USA)
,
Zhou Liang
(Department of Electrical and Computer Engineering, University of Florida, Gainesville, FL, USA)
,
Zhang Xiaoyang
(Department of Electrical and Computer Engineering, University of Florida, Gainesville, FL, USA)
,
Xie Huikai
(Department of Electrical and Computer Engineering, University of Florida, Gainesville, FL, USA)
資料名:
IEEE Transactions on Device and Materials Reliability
(IEEE Transactions on Device and Materials Reliability)
巻:
18
号:
3
ページ:
422-428
発行年:
2018年
JST資料番号:
W1320A
ISSN:
1530-4388
CODEN:
ITDMA2
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)