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文献
J-GLOBAL ID：201802266358320656
整理番号：18A0153118
走査型電気化学顕微鏡によるウエハ片上のメッキプロセスの研究と表面膜の特性決定のための多目的電着セル構造の開発と利用
Development and application of a multipurpose electrodeposition cell configuration for studying plating processes on wafer specimen and for characterizing surface films by scanning electrochemical microscopy
HANEKAMP Patrick
(Univ. Regensburg, Regensburg, DEU)
,
HANEKAMP Patrick
(Infineon Technol. AG, Regensburg, DEU)
,
ROBL Werner
(Infineon Technol. AG, Regensburg, DEU)
,
MATYSIK Frank-Michael
(Univ. Regensburg, Regensburg, DEU)
資料名：
Journal of Applied Electrochemistry
(Journal of Applied Electrochemistry)
巻： 47 号： 12 ページ： 1305-1312 発行年： 2017年12月
JST資料番号： B0393B ISSN： 0021-891X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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