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文献
J-GLOBAL ID：201802267534585705
整理番号：18A0588578
CoSn3DスタックのためのIMC抵抗率と速度論的パラメータを抽出するための新しいその場抵抗測定【Powered by NICT】
A novel in-situ resistance measurement to extract IMC resistivity and kinetic parameter for CoSn 3D stacks
Hou Lin
(IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Derakhshandeh Jaber
(IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
De Coster Jeroen
(IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Wang Teng
(IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Cherman Vladimir
(IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Bex Pieter
(IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Rebibis Kenneth June
(IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Van De Plas Geert
(IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Beyer Gerald
(IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Beyne Eric
(IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
De Wolf Ingrid
(IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： S3S ページ： 1-3 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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