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文献
J-GLOBAL ID：201802268183591621
整理番号：18A1623687
大気パッケージングを用いた改良SOI共振圧力センサ【JST・京大機械翻訳】
An Improved SOI Resonant Pressure Sensor using Atmospheric Packaging*
Ren Sen
(Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, Shaanxi, 710072, China)
,
Xie Jianbing
(Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, Shaanxi, 710072, China)
,
Shen Qiang
(Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, Shaanxi, 710072, China)
,
Wang Fei
(Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, Shaanxi, 710072, China)
,
Yuan Weizheng
(Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, Shaanxi, 710072, China)
,
Zhang Jinkuan
(Flight Automatic Control Research Institute, Xi’an, Shaanxi, 710065, China)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018 号： INEC ページ： 37-38 発行年： 2018年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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