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文献
J-GLOBAL ID：201802268290026673
整理番号：18A0969368
RF ICP放電に及ぼすイオン-中性衝突過程の影響の数値解析【JST・京大機械翻訳】
Numerical analysis of effects of ion-neutral collision processes on RF ICP discharge
Nishida K.
(Graduate School of Science and Technology, Keio University, 3-14-1 Hiyoshi, Kouhoku-ku, Yokohama 223-8522, Japan)
,
Mattei S.
(CERN, 1211 Geneva 23, Switzerland)
,
Lettry J.
(CERN, 1211 Geneva 23, Switzerland)
,
Hatayama A.
(Graduate School of Science and Technology, Keio University, 3-14-1 Hiyoshi, Kouhoku-ku, Yokohama 223-8522, Japan)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 123 号： 4 ページ： 043305-043305-10 発行年： 2018年
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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