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文献
J-GLOBAL ID：201802268666910817
整理番号：18A0505128
銅配線のためのグラフェンキャップ膜の耐湿バリア性
Moisture Barrier Properties of Capping Graphene for Copper Metallization
上野和良
(芝浦工大)
,
上野和良
(芝浦工大 グリーンイノベーション研究セ)
,
GOMASANG Ploybussara
(芝浦工大)
,
阿部拓実
(芝浦工大)
,
河原憲治
(九大 グローバルイノベーションセ)
,
和才容子
(堀場テクノサービス)
,
CUONG Nguyen Thanh
(物質材料研究機構 若手国際研究セ)
,
NABATOVA-GABAIN Nataliya
(堀場テクノサービス)
,
吾郷浩樹
(九大 グローバルイノベーションセ)
,
岡田晋
(筑波大)
資料名：
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 117 号： 429(SDM2017 97-103) ページ： 5-9 発行年： 2018年02月01日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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