文献
J-GLOBAL ID:201802268882513418
整理番号:18A0401923
調整された機械的異方性のための積層懸濁液を用いた3次元ピエゾ抵抗シリコンマイクロプローブ【Powered by NICT】
3D piezoresistive silicon microprobes with stacked suspensions for tailored mechanical anisotropies
著者 (3件):
Metz D.
(Technische Universitaet Braunschweig, Institute of Microtechnology, Braunschweig, Germany)
,
Ferreira N.
(Technische Universitaet Braunschweig, Institute of Microtechnology, Braunschweig, Germany)
,
Dietzel A.
(Technische Universitaet Braunschweig, Institute of Microtechnology, Braunschweig, Germany)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
267
ページ:
164-176
発行年:
2017年
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)