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J-GLOBAL ID：201802268895495334   整理番号：18A2052322

基板上の有機汚染除去のためのラジカル蒸気反応器におけるグリーン表面洗浄

Green Surface Cleaning in a Radical Vapor Reactor to Remove Organic Fouling on a Substrate
著者 (11件)：
YAMASAKI Ryota
(Research Center for Eco-fitting Technology, Kyushu Institute of Technology)
, 
YAMASAKI Ryota
(Division of Functional Interface Engineering, Department of Biological Functions Engineering, Kyushu Institute of Technology)
, 
YAMASAKI Ryota
(Advanced Catalytic Transformation Program for Carbon Utilization (ACT-C), Japan Science and Technology Agency (JST))
, 
TAKATSUJI Yoshiyuki
(Division of Functional Interface Engineering, Department of Biological Functions Engineering, Kyushu Institute of Technology)
, 
MORIMOTO Masayuki
(Division of Functional Interface Engineering, Department of Biological Functions Engineering, Kyushu Institute of Technology)
, 
MORIMOTO Masayuki
(Advanced Catalytic Transformation Program for Carbon Utilization (ACT-C), Japan Science and Technology Agency (JST))
, 
SAKAKURA Tatsuya
(Division of Functional Interface Engineering, Department of Biological Functions Engineering, Kyushu Institute of Technology)
, 
MATSUO Keishi
(Division of Functional Interface Engineering, Department of Biological Functions Engineering, Kyushu Institute of Technology)
, 
HARUYAMA Tetsuya
(Research Center for Eco-fitting Technology, Kyushu Institute of Technology)
, 
HARUYAMA Tetsuya
(Division of Functional Interface Engineering, Department of Biological Functions Engineering, Kyushu Institute of Technology)
, 
HARUYAMA Tetsuya
(Advanced Catalytic Transformation Program for Carbon Utilization (ACT-C), Japan Science and Technology Agency (JST))

資料名：
Electrochemistry (Web)  (Electrochemistry (Web))

巻： 86  号： 6  ページ： 355-362(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： U1358A  ISSN： 2186-2451  CODEN： EECTFA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
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