前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201802269577725972
整理番号：18A1008182
スパッタしたMo-Ti-Al膜の酸化と湿式エッチング挙動【JST・京大機械翻訳】
Oxidation and wet etching behavior of sputtered Mo-Ti-Al films
Jorg Tanja
(Department of Physical Metallurgy and Materials Testing, Montanuniversitaet Leoben, Franz-Josef-Strasse 18, 8700 Leoben, Austria)
,
Hofer Anna M.
(Department of Physical Metallurgy and Materials Testing, Montanuniversitaet Leoben, Franz-Josef-Strasse 18, 8700 Leoben, Austria)
,
Kostenbauer Harald
(Business Unit Coating, PLANSEE SE, Metallwerk-Plansee-Strasse 71, 6600 Reutte, Austria)
,
Winkler Jorg
(Business Unit Coating, PLANSEE SE, Metallwerk-Plansee-Strasse 71, 6600 Reutte, Austria)
,
Mitterer Christian
(Department of Physical Metallurgy and Materials Testing, Montanuniversitaet Leoben, Franz-Josef-Strasse 18, 8700 Leoben, Austria)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 36 号： 2 ページ： 021513-021513-5 発行年： 2018年
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。