文献
J-GLOBAL ID:201802269584930861
整理番号:18A0728899
SiフォトニクスのためのCMOS互換コンタクト技術【JST・京大機械翻訳】
CMOS-compatible contact technology for Si photonics
著者 (3件):
Rodriguez Philippe
(Univ. Grenoble Alpes, F-38000 Grenoble, France)
,
Ghegin Elodie
(Univ. Grenoble Alpes, F-38000 Grenoble, France)
,
Nemouchi Fabrice
(Univ. Grenoble Alpes, F-38000 Grenoble, France)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2018
号:
IWJT
ページ:
1-6
発行年:
2018年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)