文献
J-GLOBAL ID:201802269690955198
整理番号:18A1650112
パルスレーザ融解により誘起されたゲルマニウム中の酸素の不拡散【JST・京大機械翻訳】
Indiffusion of oxygen in germanium induced by pulsed laser melting
著者 (6件):
Milazzo R.
(Dipartimento di Fisica e Astronomia, Universita di Padova and CNR-IMM, Via Marzolo 8, 35131 Padova, Italy)
,
Linser M.
(Dipartimento di Fisica e Astronomia, Universita di Padova and CNR-IMM, Via Marzolo 8, 35131 Padova, Italy)
,
Scarpa D.
(INFN Laboratori Nazionali di Legnaro, Italy)
,
Carnera A.
(Dipartimento di Fisica e Astronomia, Universita di Padova and CNR-IMM, Via Marzolo 8, 35131 Padova, Italy)
,
Andrighetto A.
(INFN Laboratori Nazionali di Legnaro, Italy)
,
Napolitani E.
(Dipartimento di Fisica e Astronomia, Universita di Padova and CNR-IMM, Via Marzolo 8, 35131 Padova, Italy)
資料名:
Materials Science in Semiconductor Processing
(Materials Science in Semiconductor Processing)
巻:
88
ページ:
93-96
発行年:
2018年
JST資料番号:
W1055A
ISSN:
1369-8001
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)