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文献
J-GLOBAL ID：201802270166802207
整理番号：18A0425919
陽極酸化アルミニウムのナノ細孔アレイの孔径を制御する方法【Powered by NICT】
A method of controlling the hole size of nanopores array on anodic aluminum oxide
Xue Tao
(Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing 100084, China)
,
Xue Tao
(Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology (TNList), Tsinghua University, Beijing 100084, China)
,
Xu Qing
(Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing 100084, China)
,
Xu Qing
(Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology (TNList), Tsinghua University, Beijing 100084, China)
,
Li Yu-Xing
(Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing 100084, China)
,
Li Yu-Xing
(Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology (TNList), Tsinghua University, Beijing 100084, China)
,
Qi Han-Yu
(Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing 100084, China)
,
Qi Han-Yu
(Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology (TNList), Tsinghua University, Beijing 100084, China)
,
Wang Zhi-Bo
(Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing 100084, China)
,
Wang Zhi-Bo
(Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology (TNList), Tsinghua University, Beijing 100084, China)
,
Yang Yi
(Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing 100084, China)
,
Yang Yi
(Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology (TNList), Tsinghua University, Beijing 100084, China)
,
Ren Tian-Ling
(Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing 100084, China)
,
Ren Tian-Ling
(Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology (TNList), Tsinghua University, Beijing 100084, China)
資料名：
Materials Letters
(Materials Letters)
巻： 215 ページ： 183-186 発行年： 2018年
JST資料番号： E0935A ISSN： 0167-577X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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