文献
J-GLOBAL ID:201802270697400217
整理番号:18A0386961
光波散乱計測における測定に及ぼす種々の確率的ラインエッジ粗さパターンの影響 シミュレーション研究【Powered by NICT】
Impact of different stochastic line edge roughness patterns on measurements in scatterometry - A simulation study
著者 (3件):
Gross H.
(Physikalisch-Techn. Bundesanstalt, Braunschweig und Berlin, Germany)
,
Heidenreich S.
(Physikalisch-Techn. Bundesanstalt, Braunschweig und Berlin, Germany)
,
Baer M.
(Physikalisch-Techn. Bundesanstalt, Braunschweig und Berlin, Germany)
資料名:
Measurement
(Measurement)
巻:
98
ページ:
339-346
発行年:
2017年
JST資料番号:
W0315B
ISSN:
0263-2241
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)