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文献
J-GLOBAL ID：201802271140505022
整理番号：18A0382252
磁極増強ICP源におけるAr N_2混合プラズマの分光学的とLangmuir探針測定【Powered by NICT】
Spectroscopic and Langmuir probe measurements of Ar-N2 mixture plasma in magnetic pole enhanced ICP source
Younus Maria
(Department of Physics, Quaid-i-Azam University 45320 Islamabad, Pakistan)
,
Rehman N.U.
(Plasma Physics Laboratory, Department of Physics, COMSATS Institute of Information Technology 44000, Islamabad, Pakistan)
資料名：
Optik
(Optik)
巻： 130 ページ： 877-886 発行年： 2017年
JST資料番号： D0251A ISSN： 0030-4026 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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