文献
J-GLOBAL ID:201802271140505022
整理番号:18A0382252
磁極増強ICP源におけるAr N_2混合プラズマの分光学的とLangmuir探針測定【Powered by NICT】
Spectroscopic and Langmuir probe measurements of Ar-N2 mixture plasma in magnetic pole enhanced ICP source
著者 (2件):
Younus Maria
(Department of Physics, Quaid-i-Azam University 45320 Islamabad, Pakistan)
,
Rehman N.U.
(Plasma Physics Laboratory, Department of Physics, COMSATS Institute of Information Technology 44000, Islamabad, Pakistan)
資料名:
Optik
(Optik)
巻:
130
ページ:
877-886
発行年:
2017年
JST資料番号:
D0251A
ISSN:
0030-4026
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)