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文献
J-GLOBAL ID：201802272109438903
整理番号：18A1591481
窒化クロムのバイポーラマグネトロンスパッタリングに及ぼすデューティサイクルと周波数効果の広範囲調査【JST・京大機械翻訳】
Wide range investigation of duty cycle and frequency effects on bipolar magnetron sputtering of chromium nitride
Haye Emile
(Laboratoire Interdisciplinaire de Spectroscopie Electronique (LISE), Namur Institute of Structured Matter (NISM), University of Namur, 61 Rue de Bruxelles, 5000 Namur, Belgium)
,
Colaux Julien L.
(Laboratoire d’Analyse par Reactions Nucleaires (LARN), Namur Institute of Structured Matter (NISM), University of Namur, 61 Rue de Bruxelles, 5000 Namur, Belgium)
,
Colaux Julien L.
(Synthesis, Irradiation & Analysis of Materials (SIAM) Platform, University of Namur, 61 Rue de Bruxelles, 5000 Namur, Belgium)
,
Moskovkin Pavel
(Laboratoire d’Analyse par Reactions Nucleaires (LARN), Namur Institute of Structured Matter (NISM), University of Namur, 61 Rue de Bruxelles, 5000 Namur, Belgium)
,
Pireaux Jean-Jacques
(Laboratoire Interdisciplinaire de Spectroscopie Electronique (LISE), Namur Institute of Structured Matter (NISM), University of Namur, 61 Rue de Bruxelles, 5000 Namur, Belgium)
,
Lucas Stephane
(Laboratoire d’Analyse par Reactions Nucleaires (LARN), Namur Institute of Structured Matter (NISM), University of Namur, 61 Rue de Bruxelles, 5000 Namur, Belgium)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 350 ページ： 84-94 発行年： 2018年
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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