文献
J-GLOBAL ID:201802273272573216
整理番号:18A0203688
側壁ピエゾ抵抗と接触MEMS位置センサのSelectiveSensitivity【Powered by NICT】
SelectiveSensitivity of contact MEMS position sensors with sidewall piezoresistors
著者 (6件):
Stavrov V.
(AMG Technology Ltd., 2140 Botevgrad, Bulgaria)
,
Stavreva G.
(AMG Technology Ltd., 2140 Botevgrad, Bulgaria)
,
Tomerov E.
(AMG Technology Ltd., 2140 Botevgrad, Bulgaria)
,
Shulev A.
(Institute of Mechanics, Bulgarian Academy of Scienses, 1113 Sofia, Bulgaria)
,
Chakarov D.
(Institute of Mechanics, Bulgarian Academy of Scienses, 1113 Sofia, Bulgaria)
,
Tsenkov Y.
(Electroninvest Ltd., 1000 Sofia, Bulgaria)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
SIITME
ページ:
33-37
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)