文献
J-GLOBAL ID:201802273307052891
整理番号:18A0026568
紫外線誘導プラズマ陽極酸化による酸化ハフニウムの性質【Powered by NICT】
Properties of Hafnium Oxide Received by Ultra Violet Stimulated Plasma Anodization
著者 (3件):
Kushitashvili Zurab
(Institute of Micro and Nanoelectronics, Tbilisi, Georgia)
,
Bibilashvili Amiran
(Institute of Micro and Nanoelectronics, Tbilisi, Georgia)
,
Biyikli Necmi
(University of Connecticut, Storrs, CT, USA)
資料名:
IEEE Transactions on Device and Materials Reliability
(IEEE Transactions on Device and Materials Reliability)
巻:
17
号:
4
ページ:
667-671
発行年:
2017年
JST資料番号:
W1320A
ISSN:
1530-4388
CODEN:
ITDMA2
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)