文献
J-GLOBAL ID:201802273962030835
整理番号:18A0010706
Effect of Mixing Ratio of Non-Spherical Particles in Colloidal Silica Slurry on Oxide CMP
著者 (4件):
LEE Hojun
(Pusan National Univ., Busan, KOR)
,
LEE Dasol
(Pusan National Univ., Busan, KOR)
,
KIM Moonsung
(ACENanochem Co., Ltd., Gyeongsangbuk-do, KOR)
,
JEONG Haedo
(Pusan National Univ., Busan, KOR)
資料名:
International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
(International Journal of Precision Engineering and Manufacturing)
巻:
18
号:
10
ページ:
1333-1338
発行年:
2017年10月
JST資料番号:
A1070A
ISSN:
2234-7593
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
韓国 (KOR)
言語:
英語 (EN)