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文献
J-GLOBAL ID：201802274142936113
整理番号：18A0632844
超高速MOVPE成長GaAsの結晶品質におけるV/III比の影響
Effects of V/III ratio on the quality of GaAs grown by MOVPE with extremely-high growth rate
SODABANLU H.
(Univ. of Tokyo)
,
UBUKATA A.
(Taiyo Nippon Sanso Corp.)
,
WATANABE K.
(Univ. of Tokyo)
,
SUGAYA T.
(AIST)
,
NAKANO Y.
(Univ. of Tokyo)
,
SUGIYAMA M.
(Univ. of Tokyo)
資料名：
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 65th ページ： ROMBUNNO.19a-F310-3 発行年： 2018年03月05日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2436-7613 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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