文献
J-GLOBAL ID:201802275104728847
整理番号:18A1237790
5次の幾何収差補正装置における残留収差の評価
Evaluation of residual aberration in fifth-order geometrical aberration correctors
著者 (5件):
MORISHITA Shigeyuki
(JEOL Ltd., Tokyo, JPN)
,
KOHNO Yuji
(JEOL Ltd., Tokyo, JPN)
,
HOSOKAWA Fumio
(BioNet Lab. Inc., Tokyo, JPN)
,
SUENAGA Kazu
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
SAWADA Hidetaka
(JEOL Ltd., Tokyo, JPN)
資料名:
Microscopy
(Microscopy)
巻:
67
号:
3
ページ:
156-163
発行年:
2018年06月
JST資料番号:
W1384A
ISSN:
2050-5698
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)