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文献
J-GLOBAL ID：201802275105034988
整理番号：18A1682682
リモートシランプラズマにおける粒子挙動とその膜成長への寄与【JST・京大機械翻訳】
Particle behavior and its contribution to film growth in a remote silane plasma
Kim Yeonwon
(Division of Marine Mechatronics, Mokpo National Maritime University, 91 Haeyangdaehak-ro, Mokpo-si 58628, Jeollanam-do, Korea)
,
Koga Kazunori
(Faculty of Information Science and Electrical Engineering, Kyushu University, 744 Motooka, Nishi-ku, Fukuoka 819-0395, Japan)
,
Shiratani Masaharu
(Faculty of Information Science and Electrical Engineering, Kyushu University, 744 Motooka, Nishi-ku, Fukuoka 819-0395, Japan)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 36 号： 5 ページ： 050601-050601-5 発行年： 2018年
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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