文献
J-GLOBAL ID:201802275551639615
整理番号:18A1045760
スピンオン低kポリマーによるTSVライナー誘電体技術【JST・京大機械翻訳】
TSV liner dielectric technology with spin-on low-k polymer
著者 (6件):
Lee S.
(Department of Mechanical Systems Engineering, Tohoku University, Sendai, Japan)
,
Sugawara Y.
(Department of Mechanical Systems Engineering, Tohoku University, Sendai, Japan)
,
Ito M.
(Department of Mechanical Systems Engineering, Tohoku University, Sendai, Japan)
,
Kino H.
(Frontier Research Institute for Interdisciplinary Sciences, Tohoku University, Sendai, Japan)
,
Fukushima T.
(Department of Mechanical Systems Engineering, Tohoku University, Sendai, Japan)
,
Tanaka T.
(Department of Mechanical Systems Engineering, Tohoku University, Sendai, Japan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2018
号:
ICEP-IAAC
ページ:
346-349
発行年:
2018年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)