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文献
J-GLOBAL ID：201802275665105520
整理番号：18A1699484
電子エネルギー損失分光法を用いた高パッシベーション性能TiOx/SiOx/c-Siヘテロ界面の局所構造の解明
望月健矢
(名大 院)
,
後藤和泰
(名大 院)
,
黒川康良
(名大 院)
,
山本剛久
(名大 院)
,
宇佐美徳隆
(名大 院)
資料名：
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 79th ページ： ROMBUNNO.20p-133-11 発行年： 2018年09月05日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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