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文献
J-GLOBAL ID：201802275944359460
整理番号：18A0446798
積層ナノシートゲートオールアラウンドトランジスタのための高k金属ゲート基本学習とマルチV_tオプション【Powered by NICT】
High-k metal gate fundamental learning and multi-Vt options for stacked nanosheet gate-all-around transistor
Zhang Jingyun
(IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203)
,
Ando Takashi
(IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203)
,
Yeung Chun Wing
(IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203)
,
Wang Miaomiao
(IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203)
,
Kwon Ohseong
(SAMSUNG ELECTRONICS, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203)
,
Galatage Rohit
(GLOBALFOUNDRIES, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203)
,
Chao Robin
(IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203)
,
Loubet Nicolas
(IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203)
,
Moon Bum Ki
(GLOBALFOUNDRIES, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203)
,
Bao Ruqiang
(IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203)
,
Vega Reinaldo A.
(IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203)
,
Li Juntao
(IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203)
,
Zhang Chen
(IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203)
,
Liu Zuoguang
(IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203)
,
Kang Myunggil
(SAMSUNG ELECTRONICS, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203)
,
Miao Xin
(IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203)
,
Wang Junli
(IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203)
,
Kanakasabapathy Sivananda
(IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203)
,
Basker Veeraraghavan S.
(IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203)
,
Jagannathan Hemanth
(IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203)
,
Yamashita Tenko
(IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： IEDM ページ： 22.1.1-22.1.4 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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