文献
J-GLOBAL ID:201802276455688824
整理番号:18A0187352
Al/AlN/Si構造に基づくSAW温度センサのFEMシミュレーション【Powered by NICT】
FEM simulation of SAW temperature sensor based on Al/AlN/Si structure
著者 (4件):
Li Yingge
(College of Electromechanical Engineering, Qingdao University of Science & Technology, Qingdao, China)
,
Ma Lianxiang
(College of Electromechanical Engineering, Qingdao University of Science & Technology, Qingdao, China)
,
Zhang Dian
(College of Automation and Electrical Engineering, Qingdao University of Science & Technology, Qingdao, China)
,
Liu Ximei
(College of Automation and Electrical Engineering, Qingdao University of Science & Technology, Qingdao, China)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
CAC
ページ:
6717-6720
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)