文献
J-GLOBAL ID:201802277521957602
整理番号:18A0444990
ミクロン分解能寸法測定のための電子センサ【Powered by NICT】
Electronic sensors for micron resolution dimension measurement
著者 (3件):
Prathima B A
(Dept. of ECE, K.S.I.T., Bengaluru, Karnataka, India)
,
Sudha P N
(Dept of ECE, K.S.I.T., Bengaluru, Karnataka, India)
,
Suresh P M
(Dept of Mechanical Engineering, ACS College of Engineering, Bengaluru, Karnataka, India)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
ICEECCOT
ページ:
359-367
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)