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文献
J-GLOBAL ID：201802278076851854
整理番号：18A0615705
スペクトルアーチファクト後スパッタエッチングとこれら法規への対処の仕方-単原子及びクラスタイオンビームを用いた窒化物系被覆のXPSの事例研究【Powered by NICT】
Spectral artefacts post sputter-etching and how to cope with them - A case study of XPS on nitride-based coatings using monoatomic and cluster ion beams
Lewin Erik
(Laboratory for Nanoscale Materials Science, Empa, UEberlandstrasse 129, CH-8600 Duebendorf, Switzerland)
,
Lewin Erik
(Inorganic Chemistry, Department of Chemistry - Ångstrom Laboratory, Uppsala university, Box 538, SE-751 21 Uppsala, Sweden)
,
Counsell Jonathan
(Kratos Analytical Ltd, Trafford Wharf Road, Manchester M17 1G, United Kingdom)
,
Patscheider Jorg
(Laboratory for Nanoscale Materials Science, Empa, UEberlandstrasse 129, CH-8600 Duebendorf, Switzerland)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 442 ページ： 487-500 発行年： 2018年
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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