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文献
J-GLOBAL ID：201802278372508174
整理番号：18A1183464
水中でのSiCの白金触媒加水分解エッチング:密度汎関数理論研究
Platinum-catalyzed hydrolysis etching of SiC in water: A density functional theory study
BUI Pho Van
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
TOH Daisetsu
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
ISOHASHI Ai
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
MATSUYAMA Satoshi
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
INAGAKI Kouji
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
SANO Yasuhisa
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
YAMAUCHI Kazuto
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
MORIKAWA Yoshitada
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 57 号： 5 ページ： 055703.1-055703.5 発行年： 2018年05月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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