文献
J-GLOBAL ID:201802278494736474
整理番号:18A0164010
新規3自由度並列micro/nano位置決めステージ大旅行の設計とモデル化【Powered by NICT】
Design and modeling of a novel 3-DOF large-travel parallel micro/nano-positioning stage
著者 (2件):
Zhang Xiaozhi
(Department of Electromechanical Engineering, Faculty of Science and Technology, University of Macau, Avenida da Universidade, Taipa, Macau, China)
,
Xu Qingsong
(Department of Electromechanical Engineering, Faculty of Science and Technology, University of Macau, Avenida da Universidade, Taipa, Macau, China)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
IECON
ページ:
2840-2845
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)