文献
J-GLOBAL ID:201802278611341328
整理番号:18A2041514
単結晶シリコンのMEMS制御へき開により作製した大面積ナノギャップ中の真空放出【JST・京大機械翻訳】
Vacuum emission in large-area nanogap fabricated by MEMS-controlled cleavage of single crystal silicon
著者 (4件):
Banerjee Amit
(Department of micro-engineering, Kyoto University, Kyoto, Japan)
,
Hirai Yoshikazu
(Department of micro-engineering, Kyoto University, Kyoto, Japan)
,
Tsuchiya Toshiyuki
(Department of micro-engineering, Kyoto University, Kyoto, Japan)
,
Tabata Osamu
(Department of micro-engineering, Kyoto University, Kyoto, Japan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2018
号:
IVNC
ページ:
1-2
発行年:
2018年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)