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文献
J-GLOBAL ID：201802279728764203
整理番号：18A0018950
マグネトロンスパッタリングにより作製した硬質Ti(Al,V)N_x膜の構造,微細構造と機械的性質に及ぼすエネルギーの影響【Powered by NICT】
Effect of energy on structure, microstructure and mechanical properties of hard Ti(Al,V)Nx films prepared by magnetron sputtering
Jaros M.
(Department of Physics and NTIS - European Centre of Excellence, University of West Bohemia, Univerzitni 8, CZ 306 14, Plzen, Czech Republic)
,
Musil J.
(Department of Physics and NTIS - European Centre of Excellence, University of West Bohemia, Univerzitni 8, CZ 306 14, Plzen, Czech Republic)
,
Cerstvy R.
(Department of Physics and NTIS - European Centre of Excellence, University of West Bohemia, Univerzitni 8, CZ 306 14, Plzen, Czech Republic)
,
Haviar S.
(Department of Physics and NTIS - European Centre of Excellence, University of West Bohemia, Univerzitni 8, CZ 306 14, Plzen, Czech Republic)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 332 ページ： 190-197 発行年： 2017年
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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