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J-GLOBAL ID：201802279733744251 整理番号：18A0231750

単結晶シリコンの破壊靭性値評価におけるき裂導入面の表面除去量に関する検討

著者 (5件)：

飯田和樹

(Kogakuin Univ. Graduate School, Tokyo, JPN)

富永崇史

(Kogakuin Univ. Graduate School, Tokyo, JPN)

須藤聡

(Kogakuin Univ. Graduate School, Tokyo, JPN)

宮坂正義

(Kogakuin Univ. Graduate School, Tokyo, JPN)

立野昌義

(Kogakuin Univ.)

資料名：

日本機械学会関東支部・精密工学会・茨城大学工学部茨城講演会講演論文集(CD-ROM)

巻： 25th ページ： ROMBUNNO.209 発行年： 2017年08月29日
JST資料番号： X0829B ISSN： 2424-2683 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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