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文献
J-GLOBAL ID：201802279993371029
整理番号：18A0281761
HIRFLでの25MeV/uの~86Krイオンマイクロビームを用いたデバイス構造の解析のためのSEUイメージングの応用【Powered by NICT】
Application of SEU imaging for analysis of device architecture using a 25MeV/u 86Kr ion microbeam at HIRFL
Liu Tianqi
(Institute of Modern Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China)
,
Liu Tianqi
(School of Physical Science and Technology, Lanzhou University, Lanzhou 730000, China)
,
Liu Tianqi
(University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China)
,
Yang Zhenlei
(Technology and Engineering Center for Space Utilization, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100094, China)
,
Guo Jinlong
(Institute of Modern Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China)
,
Du Guanghua
(Institute of Modern Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China)
,
Tong Teng
(Institute of High Energy Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China)
,
Wang Xiaohui
(Institute of Modern Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China)
,
Su Hong
(Institute of Modern Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China)
,
Liu Wenjing
(Institute of Modern Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China)
,
Liu Jiande
(Institute of Modern Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China)
,
Wang Bin
(Institute of Modern Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China)
,
Wang Bin
(University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China)
,
Ye Bing
(Institute of Modern Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China)
,
Ye Bing
(University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China)
,
Liu Jie
(Institute of Modern Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 404 ページ： 254-258 発行年： 2017年
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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